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Ultrasonic Anti-Powder System (초음파를 이용한 배출관 막힘 방지 장치)
TECHEST & 한국세라믹기술원 기술 이전 및 공동 개발, 관련 특허 5건
ISSUE
ISSUE

반도체, LCD 등 산업용 공정 설비에서 공정 후 잔여물질(ex. Process GAS) 배출시 배출관 내부에 고형화, 적층arrow공정 효율, 공정 안정도 저하
장치 원리
장치 원리

  • 배출관 내부 표면에 미세 운동에너지 발생
  • 배출 잔여물의 배출관 표면 적층 방해
방지 효과
방지 효과

반도체, LCD 등 산업용 공정 설비에서 공정 후 잔여물질(ex. Process GAS) 배출시 배출관 내부에 고형화, 적층arrow공정 효율, 공정 안정도 저하
장치 구성 (HEAD, DRIVER)
ISSUE
기대 효과
기대 효과

  • 친환경, 고효율 Anti-Powder 기술 최초 상용화
  • 저전력 구동 : 120W 이내 (Heat Jacket 대비 50% 이하)
  • 배관 정비 및 교체 주기 개선
SPECIFICATION
Dimension(50 배관용) Head : 105W×113D×268H
Controller : 120W×360D×192H
Weight Head : 2.3㎏
적용 배관 STS
40 ~ 200㎜
전원 전압 220V, 단상
소비 전류 정격 0.55A, 최대 0.76A
소비 전력 정격 120W
 
ISO 9001:2000 벤처기업/Inno-biz