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TRAP
  • 공정 진행 중 Powder에 의한 Pump Trip 방지
  • Fore line 막힘 현상 최소화
  • Dry Pump Lifetime 증대
  • Wafer 생산성 향상
NTHC50
  • Hot & Cold 방식으로 Δt에 의한 Power 포집하여 Pump 보호 및 Foreline Power 제거
  • 최대용량(50L)으로 공간효율 극대화
  • Gas 성질에 맞는 포집구조
  • 외곽 Cooling 구조 & 내부 Cooling 하단부 Buffer층 형성(히터+Cooling + 구조물;각각 분리
제품 이미지
NTHC50
SPECIFICATION
Dimension Exterior (W×D×H) 350㎜×480㎜×390㎜
In, Out Flange ISO-KF50
Water Connector 1/4" Quick Connector
Gas Flow Max : 500slm
TC1 Heater Module 1EA
TC2 Cooling Module 1EA
Bimetal 200℃ 1EA
Heater Connector MS 3102 Connector
Volume Inside 50Liter
Weight Only TRAP 48㎏
Material Structure STS304
Heater INCONEL600
Performance Heater TEMP. 300~400℃
Power Consumption 1.5㎾(Normal)
Power Supply 220V/60㎐, 1P3W
 
ISO 9001:2000 벤처기업/Inno-biz