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ETCH
특성 냉동 LICO-Ⅰ(근접) LICO-Ⅱ(직하)
이미지 냉동 LICO-Ⅰ LICO-Ⅱ
설치위치 하층 FAB Grating 하부 격자 보 Grating 상부, Main 장비 Chamber 인근
배관길이 15M 5M 1.5M
제어속도(FTT) 60SEC 28SEC 15SEC
소비전력 10.4kwh 2.5kwh 2.1kwh
LICO의 장점
  • 제어속도
    • Main 장비 Chamber 인접한 곳에 위치한 최소의 배관길이로 빠른 응답성, 정밀도 및 온도 제어 속도(TFF, LTT) 향상
  • Energy saving
    • 기존 냉동 식 대비 80% 소비 전력 감소
  • Green FAB
    • 냉매 GAS가 불필요한 Thermo Electronic Module 사용으로 친환경적인 사용성 제공
  • Compact size
    • Main장비 Empty 공간에 설치하는 작업발판 대용의 구조이며, Unit과 Remote Controller의 구분으로 Small Footprint 구현
SPECIFICATION
Process ETCH
Chiller Model LC-40EC LC-60EC LC-80EC LC-90EXC LC-8050XC
Channel Single Single Single Single Dual
Temp Range -20℃~60℃ -20℃~60℃ -20℃~60℃ -20℃~80℃ Cool Hot
-10℃~60℃ 30℃~90℃
Cooling Capacity 4,000W ~20℃ 6,000W @20℃ 8,000W @20℃ 8,000W @20℃ 8,000W @20℃ 5,000W @20℃
Accuracy ±0.1 ℃
Flow rate 20LPM @4㎏/㎠ 30LPM @4㎏/㎠ 20 LPM @3㎏/㎠
Coolant FC-3283
Interface Analog, RS-232, RS-442, RS-485 , D-net
Size W265 × D850 × H270 W600 × D520 × H400 W480 × D762 × H415 W450 × D710 × H550 W370 × D650 × H870
Weight 50㎏ 88㎏ 100㎏ 100㎏ 150㎏
PCW 20LPM @18℃ 25LPM @18℃ 30±1.5LPM @18℃ 30 LPM @18℃ 50LPM @18℃
Electrical 208-220V,100A, 3PH 208-220V ,175A, 3PH 208-220V ,225A, 3PH 208-220V ,300A, 3PH 208-220V , 100A, 3PH
Application Tool's ETCH(OXIDE, POLY), AMAT ETCH(OXIDE, POLY), LRC, DMS, MATTSON ETCH(OXIDE, POLY), TEL, AMAT, SEMES, LAM ETCH(OXIDE, POLY), TEL,SEMES ETCH(OXIDE,POLY), LAM
 
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